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高频率长脉宽355nm紫外激光器

性能特点:          应用领域:

点.png超低噪声               点.png晶圆划线

点.png高功率稳定性        点.png全切晶圆划片

点.png结构紧凑              点.png 低k电介质开槽

点.png控制驱动一体       点.png硅、蓝宝石、陶瓷和金属的微机械加工

点.png数字控制

  • 产品介绍
  • 产品参数

迈微光电推出的长脉宽高功率 355nm 紫外激光器,功率输出12W,具有高功率稳定性、结构紧凑、控制驱动一体、数字控制等优点,可广泛应用于晶圆划线、全切晶圆划片、低K电解质开槽、硅、蓝宝石、陶瓷和金属的微机械加工等。

波长:355nm


Parameters

Typical values

波长

Wavelength

                   355nm

功率输出

Output power

12W

脉冲能量

Pulse energy

>0.5mJ

光斑质量

Beam quality

M2< 1.3

功率稳定性

Power stability

Excellent long-term stability <2%@ 8 hours

脉冲宽度

Pulse width

~100ns long pulse width



PRF(kHZ)

Power(Watts)

Pulse Width(ns)

40

>=12

80+/-30

80

>=8

130+/-60

120

>=6

190+/-90

160

>=5

240+/-100

200

>=4.5

280+/-100

40

>=12

80+/-30



机械尺寸及安装(可定制)

 

Mechanical dimensions and installation (Customizable)

图片10.png 

 

 

 

 


Parameters

Typical values

波长

Wavelength

                   355nm

功率输出

Output power

12W

脉冲能量

Pulse energy

>0.5mJ

光斑质量

Beam quality

M2< 1.3

功率稳定性

Power stability

Excellent long-term stability <2%@ 8 hours

脉冲宽度

Pulse width

~100ns long pulse width



PRF(kHZ)

Power(Watts)

Pulse Width(ns)

40

>=12

80+/-30

80

>=8

130+/-60

120

>=6

190+/-90

160

>=5

240+/-100

200

>=4.5

280+/-100

40

>=12

80+/-30



机械尺寸及安装(可定制)

 

Mechanical dimensions and installation (Customizable)

图片10.png 

 

 

 

 


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